是鍺單晶?
■鍺單晶 (Monocrystalline Germanium),是指不含大角晶界或孿晶的鍺晶體。呈金剛石型晶體結構,是重要的半導體材料。
鍺單晶制備方法
■鍺單晶是以區熔鍺錠為原料,用直拉法(CZ)法或者垂直梯度法(VGF法)等方法制備的鍺單晶體。
■直拉法(CZ):拉晶前先將設備各部件、合金石英坩堝、鍺錠和籽晶進行清潔處理。將鍺經配料和摻雜,加入單晶爐的合金石英坩堝中,再經抽真空、熔化,在流通的氬氣氣氛下,人工引晶放肩和收尾。晶體的等徑生長過程中,控制拉速、坩堝和籽晶轉速等措施,以及自動控制爐溫和單晶直徑等技術使其獲得直徑均勻的產品。經檢測、稱量,制得鍺單晶成品。
■懸浮區熔勻平法:所用的爐子為水平式石英管加熱爐,能生產電阻率