機型\項目 TG5 TG6-9
鍍膜室規格 Ǿ700mm -800mm *800mm -880mm Ǿ900mm -1000mm *1000mm -1200mm
極限真空度 ≤7.6×10-4Pa
冷態抽真空時間 從1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分鐘
機組配置 KT-400擴散泵機組 KT-400擴散泵機組
或KT-500擴散泵機組 KT-600擴散泵機組
靶配置 5個電弧靶1個磁控靶 6-9個電弧靶2個磁控靶 2個大面積弧靶2對孿生靶
配電要求 40KW 50KW 60KW
備注 可根據用戶產品、產量、膜層特殊要求設計制造非標設備
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TG5、TG6-9
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- 聯系人姓名：劉小賀
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佛山市佛欣真空技術有限公司
真空鍍膜設備,電鍍機,鈦金,鍍鈦爐,真空鍍膜機
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