MKS流量計、MKS傳感器、MKS薄膜真空計、MKS閥、MKS流量控制閥
美國MKS INSTRUMENTS成立于1961年，作為半導體零部件的供應商，在氣體、真空儀器及制程控制應用等方面有技術獨到之處，美國萬機儀器MKS INSTRUMENTS產品起源于壓力測量和控制核心技術，延伸到材料遞送、氣體成分分析、靜電荷控制、工藝控制、信息管理、電源和反應氣體發生器及真空技術，其產品廣泛地應用于各種半導體生產設備和制造過程中。
MKS流量計是以單位時間內壓力體積的流量方式來控制氣體質量流量的測量儀器。MKS薄膜真空計、MKS流量控制閥、MKS流量計廣泛應用在半導體行業，鍍膜玻璃，醫藥制藥行業，生物工程行業，適合各種氣體媒介，常用的有氧氣，氫氣，氮氣，氯化氫氣體，氨氣，SICL4硅烷氣體等。
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MKS傳感器
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上海軼舜機電設備有限公司
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