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SOYI系列真空鍍膜電源簡(jiǎn)介
本公司生產(chǎn)的真空鍍膜電源（真空蒸發(fā)鍍膜電源和真空濺射鍍膜電源）
有以下特點(diǎn)：1、恒壓，恒功率
2、抑制靶材弧光放電及抗短路功能, 具有佳的負(fù)載匹配能力。
3、工藝重復(fù)性好。
4、提高成膜速度， 實(shí)現(xiàn)量的濺射膜層。
SOYI系列真空鍍膜電源技術(shù)參數(shù)
品名 真空鍍膜電源
型號(hào) SOYI系列
輸入 相數(shù) 單相或三相
電壓 220/380V
頻率 50Hz
輸入方式 4線（含地線）
輸出 波形 直線
功率 30KW /60KW /100KW（可定制）
電壓 0—1200V（可定制）
穩(wěn)定度 ≤1%
電流 0—200A（可定制）
穩(wěn)定度 ≤1%
紋波及雜訊 ≤5%或≤3%
效率 ≥90%
控制 功率 可選擇
電壓 恒壓控制，可本地控制也可通過(guò)0-10V或4-20mA
電流 可選擇
保護(hù) 具備缺相、過(guò)熱、限壓、恒功率、過(guò)壓、過(guò)流、短路、超載等保護(hù)功能
冷卻 風(fēng)冷
外型 外殼
尺寸(W*D*H) 482.6mm*600mm*266.7mm（30KW）
重量 30KG（30KW）
